多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，多晶硅材料是光伏產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。在生產(chǎn)中，還原爐每運(yùn)行一個(gè)周期，其內(nèi)表面都會(huì)殘留無定形硅，同時(shí)含有氯硅烷水解物及其他粉塵雜質(zhì)。因此每運(yùn)行一個(gè)周期需要采用清洗液，并根據(jù)殘留物分布情況對(duì)還原爐基盤和鐘罩分別采用特定的清理工藝進(jìn)行處理。還原工藝是多晶硅生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝，其工藝條件和參數(shù)控制好壞直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。

 

 

多晶硅在整個(gè)生產(chǎn)過程中，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的控制要求很高，對(duì)還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度要求特別關(guān)鍵，任何顆粒性雜質(zhì)、油脂等物質(zhì)余留在爐內(nèi)，都會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。北京德高潔清潔設(shè)備有限公司經(jīng)過研發(fā)設(shè)計(jì)并制造出了多晶硅自動(dòng)化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)，可以完全將多晶硅還原爐鐘罩清洗干凈，滿足生產(chǎn)需求。

 

德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓清洗機(jī)為主機(jī)，以高壓水射流為動(dòng)力的自驅(qū)動(dòng)三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之后再采用高純水沖洗，最終完成清洗過程。

 

目前國(guó)內(nèi)多晶硅鐘罩清洗方主要有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機(jī)械拋光等清洗方法，但德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)更具特點(diǎn)：

 

 

1、核心部件高壓泵采用進(jìn)口耐酸堿、耐高溫、全不銹鋼的加壓泵，清洗作業(yè)時(shí)三維旋轉(zhuǎn)噴頭可實(shí)現(xiàn)自驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)、自動(dòng)升降、全方位自動(dòng)清洗，并可保證多晶硅的純度；

 

2、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的蒸汽余熱將清洗介質(zhì)加熱，從而改變?cè)�電加熱工藝�?/div>